單晶硅片作為半導體和光伏行業(yè)的基礎材料,是由單一晶格結(jié)構(gòu)硅錠切割而成的圓形或方形薄片(厚度通常150-200μm)。其原子排列呈現(xiàn)完美有序性,區(qū)別于多晶硅片的無序晶界結(jié)構(gòu),這種特性使得載流子遷移率顯著提升(電子遷移率≥1500cm2/V·s),在太陽能轉(zhuǎn)換效率(實驗室最高26.8%)和集成電路性能方面具有決定性優(yōu)勢。
生產(chǎn)過程中需要重點關注直拉法(CZ法)晶體生長工藝,特別是通過石英坩堝熔融高純硅料(純度99.9999%以上),在特定溫度梯度下以毫米級速度提拉單晶硅棒。后續(xù)經(jīng)過金剛線切割(線徑0.1mm)、研磨拋光等20余道工序,最終形成表面粗糙度<1nm的鏡面硅片。值得注意的是,8英寸(200mm)和12英寸(300mm)大尺寸硅片已成為當前主流規(guī)格,其邊際成本可降低30%以上。
在光伏應用領域,P型(摻硼)和N型(摻磷)單晶硅片存在顯著差異。前者憑借成熟的PERC技術占據(jù)80%市場份額,而后者如TOPCon和HJT電池采用的N型硅片,由于更低的光致衰減(LID<1%)和更高少子壽命(>1000μs),正逐步成為高效組件(>24%)的首選基底材料。
半導體級單晶硅片對缺陷密度的控制更為嚴苛,要求氧化誘生層錯(OISF)<10個/cm2,且需通過外延生長工藝形成納米級超薄活性層。隨著5nm及以下制程芯片的普及,采用SOI(絕緣體上硅)結(jié)構(gòu)的特殊硅片能有效降低寄生電容,使晶體管開關速度提升40%以上。